第323章 漂亮国的反扑计划(1/2)
光刻机的另一个核心部件,是高精度的光学镜头。为了制造这些镜头,陈平安从显微镜的镜片入手,带领团队一步步提升加工精度。
陈平安与化工团队合作,研发了一种高纯度的光学玻璃,用以制造光刻机的镜头。
镜片的研磨技术
为了达到足够的精度,陈平安带领团队尝试了无数次手工研磨和抛光,最终成功制造出第一批能够满足曝光精度要求的镜片。
当第一套镜头被安装到光刻机上时,一位年轻的研究员激动地说道:“陈主任,您看,图像终于清晰了!”
陈平安看着显微镜下的曝光图案,点了点头,但语气依旧平静:“清晰只是第一步,下一步是确保曝光的稳定性。”
团队成员面面相觑。他们不明白,陈主任为什么总是这么冷静。但只有陈平安自已知道,光刻机的成功,仅仅是芯片制造的第一道关卡。
经过无数次失败和调整,光刻机终于迎来了第一次完整的曝光试验。
在实验室里,所有人屏住了呼吸,看着光刻机的扫描台缓缓移动,紫外光穿透掩膜版,将电路图案投射到硅片上。
“快看!图案出来了!”一位工程师激动地喊道。
所有人围过来,用显微镜观察硅片上的图案。虽然图案的边缘仍然有些模糊,但它已经具备了完整的电路结构。
陈平安松了一口气,微微一笑:“这是我们的第一步,但后面还有很长的路要走。”
其他设备的研发:有惊无险的突破
高纯度硅晶片的生产
光刻机的成功只是芯片制造的第一步,接下来的挑战是高纯度硅晶片的生产。
多晶硅提纯设备
在化工部门的努力下,第一台多晶硅提纯设备终于建成。团队通过氢氯化反应,成功提纯出99.999%的高纯度硅。
单晶拉制设备
单晶硅的拉制是另一个巨大的挑战。陈平安亲自带队,在高温炉旁连续工作了三天三夜,终于拉制出了第一根完整的单晶硅棒。
当这根晶体棒被切成薄薄的硅片时,现场所有人都鼓起了掌。“这是龙国第一片硅晶片!”一位工程师激动地喊道。
蚀刻机与其他设备的研发
与此同时,蚀刻机、涂胶机、显影机等设备的研发也在同步推进。
蚀刻机:团队通过高压等离子体技术,解决了蚀刻均匀性的问题。
涂胶机与显影机:通过反复试验,化工团队终于研发出了一种适合光刻工艺的光刻胶,并设计了第一台手动涂胶设备。
第一枚芯片的诞生:历史性的一天
经过多个月的努力,所有设备终于完成了调试,芯片制造的条件已经具备。陈平安决定,启动第一次完整的芯片制造流程。
制造流程:步步为营
本章未完,点击下一页继续阅读。